機器分析センター

主な機器?設備のご紹介

電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-IT800(SHL)

 JSM-IT800(SHL)は、日本電子社製の電界放出形走査電子顕微鏡(FESEM)の上位機種であり、試料表面の高分解能観察と元素分析の研究に利用される。電子銃をコンデンサーレンズの内部に組み込むことで、電子ビームを超低エミッタンスで発生することができる。この高輝度化によって、高い照射電流量(100 nA@5 kV)、球面収差の低減、高速高精度のEDS元素分析などが実現されている。また、対物レンズを電磁場重畳型とすることで、絶縁体?磁性体観察の際の空間分解能が向上している。さらに、焦点調整(AF)、非点収差補正(AS)やコントラスト輝度調整(ACB)などの電子光学制御機能が著しく改善され、ユーザーが測定条件を変えても、短時間で安定な観察に自動復帰することができる。

機器センター 2020年度 新規購入機器1

電界放出形走査電子顕微鏡本体

機器センター 2020年度 新規購入機器2

オートファインコーター及び試料回転傾斜装置

機器センター 2020年度 新規購入機器3

試料冷却ステージ
機器名?型式電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-IT800(SHL)
メーカー名日本電子(株)
納入会社名日本電子(株)
機器管理責任者見附 孝一郎  (所属) 理?分子フォトニクス研究室 (内線1122)
設置場所機器分析センター106室
文部科学省助成機器
納入年月日789游戏中心3年3月24日
測定責任者 

1.本機の特色と性能

分解能: 0.5 nm @ 15kV;0.9 nm @ 0.5kV
倍率: 200万倍(写真倍率);548万倍(表示倍率)
加速電圧: 0.01 ~ 30 kV
照射電流: 数pA ~ 500 nA @ 30kV;数pA ~ 100 nA @ 5kV
検出器: 二次電子検出器(SED);上方ハイブリッド検出器(UHD)
               上方電子検出器(UED);反射電子検出器(BED)
試料移動: X方向70 mm;Y方向50 mm;Z方向1 ~ 41 mm;
傾斜-5~70°;回転360°
試料サイズ(ドローアウト): 最大径 170 mm;最大高さ45 mm
試料交換室経由: 受口径 12.5 または32 mmφ
試料バイアス電位: 最大5 kV

低真空モード
分解能 1.3 nm @ 15kV, 50 Pa;圧力範囲 10 Pa ~ 300 Pa
検出器 低真空二次電子検出器(LVSED);低真空反射電子検出器(LVBED)

2.付属装置とその用途

(1)エネルギー分散型X線分析装置(EDS)
   分析モード:スペクトル分析、線分析、元素マップ
   スペクトル分析:定性分析、ビジュアルピークID、標準物質無し定量分析
   元素マップ:最大解像度 4096×3072;波形分離機能、
   深さ方向ラインプロファイル表示機能など

(2)試料冷却ステージ(Deben MK3 ULTRA Coolstage)
   含水試料の水分蒸発を抑えた観察を行うためには、試料を冷却して観察する
   ことが効果的です。水分の多い食品?生物組織?熱ダメージに弱い試料の観察に
   適しています。
   温度範囲:-50℃~50℃
   最小温度表示桁数:0.1℃
   温度安定性:±0.2℃
   ※温度範囲は設定圧力により変動する。
 
(3)オートファインコーター(JEC-3000FC)
   走査電子顕微鏡の試料作製装置として、生物などの非導電性試料への各種金属
   コーティングを短時間に効率的に行えるイオンスパッター装置です。
   スパッタリング方式:マグネトロン形
   使用圧力:20 Pa以下
   ターゲット:Pt、Au、Au-Pd、Pt-Pd
   試料台:64mmφ
 
(4)試料回転傾斜装置(EC-30020RTS)
   オートファインコーター(JEC-3000FC)用のオプションで試料の凹凸による
   回り込み不足を改善することができます。
   回転速度:50±10 rpm(モーター駆動)
   傾斜角度:水平~90°(手動)
   試料ホルダー:12.5mmφ、4個用/32mmφ、1個用

3.使用規定および使用上の注意

(1)操作開始時は、まず液晶ディスプレイをONしてください。続いて、SEMCenterアイコ
   ンをダブルクリックして、各自のアカウントを選択し必要ならパスワードを入れてログ
   オンしてください。試料を所定の手順で取り付けて、画像の観察を始めてください。
(2)画像観察が終了したら、観察画面上の観察ボタンをクリックして、白色の状態
   (HT OFF)にしてください。また、加速電圧を3kVに設定して下さい。次に「試料交
   換位置」ボタンをクリックして青色点灯させてください。そして、試料を所定の手順で
   取り出してください。装置使用終了時には、試料交換室のEVACランプが点灯している
   状態にして下さい。最後にSEMCenterをログオフして液晶ディスプレイの電源をOFF
   してください。
(3)試料が試料ホルダーのシリンダー上面からはみ出して上に出ている場合は、試料挿入時
   に表示される「試料設定」ウィンドウ内の「試料高さ補正」のスライダーを動かして、
   はみ出し分の大きさを入力してください。なお、はみ出し分の許容最大値は30 mm
   です。
(4)操作パネル上の焦点、コントラスト、輝度の3つの調節つまみは、軽く押すことで粗調
   ?微調を切り替えることができます。
(5)試料の取り付け?取り出し後、真空度の安定に時間がかかる場合は実験センター事務室
   まで連絡して下さい。
(6)測定終了後、装置本体及び制御PCの電源は切らないで下さい。
(7)常備以外の試料載台の使用希望者は実験センター事務室まで連絡して下さい。
(8)試料冷却ステージを利用希望者は、必ず講習を受講したものと操作して下さい。

4.使用者小委員会の構成

現在のところ設定していない。
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